倒装芯片键合机
日期:2020/9/16 8:59:59 / 阅读: / 来源:本站
倒装芯片键合机
1. 产品概述 :
通过精密输送轨道将产品从弹夹内取出,晶圆自动剥单上料并精确定位;多轴高精度机械手通过工业相机视觉引导,对产品完成精密点胶及晶圆搭载工艺。
2.
设备应用与行业 :
半导体生产工艺和CCM摄像头模组的点胶贴合工艺,以达到上下组装贴合的位置精度要求。
3. 产品特点 :
(1) 效率高,整体UPH≥5000 pcs(2)良率高 ≥ 99. 9%(除产品来料因素外)
(3)精度高,XY位置精度 :±5μm偏转角度 ±0.2°bond头压力100~1000g(可编程);
4. 技术参数
100# 倒装芯片键合机
200#
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300# 倒装芯片键合机
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倒装芯片键合机
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倒装芯片键合机
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