深圳双十精密x-Y工作台

Date:2020/12/16 8:48:32 / Read: / Source:本站

深圳双十精密x-Y工作台
    x-Y工作台是实现平面xOY坐标运动的典型关键部件。近年来,随着工业机器人、数字控
制,精密机械的迅速发展,对X-Y工作台的需求爱不断增加,对工作台部件的精度和运行速度
也提出了愈来愈高的要求。在梢密机械仪器中。它是影响整台仪器的精度和效率的重要部件。
一、x-Y工作台的性能要求、型式及组成
    (一)x-Y工作台的性能要求:
    由于工作台使用的情况不同,因而对性能的要求也各异一般的静态和动态性能要求包括
有如下一些内容。
    在静态性能方面:
    I.工作台的几何精度它包括x-Y工作台的导轨在水平面内的直线性、垂直平面内的直
线性>x方向与Y方向的垂直度,X-Y方向的反向间隙和反向精度以及工作台面与运动平面间
的不平行性。
    2.系统的静刚度工作台传动系统受重力、摩擦力或其他外力的作用而产生相应的变
形,其比值称为静刚度。
    3.工作台的定位精度和重复定位精度。
    在动态性能方面:
    1.工作台系统的振动特性和固有频率,
    Z.速度与加速度特性。
    3,负载特性;
    月.系统稳定性等。
    (二)X-Y工作台的型式工作台有多种型式.按驱动方式来划分大体有
两种:一种是驱动电机与X向(或Y向)
工作台联成一体,如图3-16a所示。这种型式的结构比较简单,但却造成底层的
驱动重量增大,电机的振动也会影响工作台的精度;另一种是电机不与工作台
联成一体,而是装在机座上,如图3-16b,。所示。这种型式的机械结构较复杂,但
却减轻了下层电机的驱动重量,适用于高速运动。
    图3-17所示的型式是将电机全都
放在机座上。电机通过一套较长的传动链驱动工作台移动。这样做的结果,虽然
减轻了下层工作台承受的重量和电机振动的影响,但却影响了传动系统的刚度和运动速度的提高。
    X-F工作台中的两个工作台迭合的型式也很多。在特殊的情况下.也有两个工作台同处于一个平面的型式,如图3-17所示。因为在某些电子显微镜等设备中,操作必须在前面进行,所以常需要采用与图3-17相似的结构。这种型式也适用于较重的工作台在小行程范围内移
动。或在工作台的高度受到限制的情况下使用。
    (三)x-Y工作台的组成
    x-Y工作台系统基本上是由工作台滑板、直线移动导轨、传动机构、驱动电机、控制装置和位移检测器等组成。
图3-18所示是工作台系统的组成部分。
在设计x-Y工作台时,应该把机械部分与控制部分
视为一体进行考虑,以便能够从总体上设计出较为经济地满足使用要求的工作台。其中传动系
统的设计尤为重要.因为它对整个X-F工作台及仪器设备的性能影响最大。所以下面将着重
分析讨论导轨与伺服传动系统的设计.

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